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나노 공학실험 레포트
Spin Coating
바이오나노학부
1. Introduction
-Spin coating은 전자 제품 소자에 많이 사용이 된다. Coating할 material을 Wafer위에 떨어뜨리고 고속으로 회전을 시키면 nm단위로 얇게 펴지면서 coating이 된다. 이번 실험에서는 Wafer을 사용하지 않고 슬라이드 글라스를 사용했다. PMMA(Poly Methyl Methacrylate)를 농도 및 회전속도에 따라 분류하여 Thickness가 어떻게 달라지는 지 알아보았다.
2. 실험 이론
-Spin coating의 원리는 원심력이다. material이 wafer위에 올라있는 채로 Spin coating 기계를 rpm을 설정한 후 wafer와 기계 사이에 진공을 잡아 wafer를 고정시킨다. 그 후 기계를 작동시키면 material이 원심력으로 인해 바깥으로 뻗어나간다. 전방위로 뻗어나간 material이 w
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